本发明公开了一种多层结构的复合柔性导电薄膜,其组成为氧化铈与氮化钛作为上下两层,陶瓷增强金属基复合导电材料作为中间夹层以及透明有机柔性衬底,采用磁控溅射工艺,依次溅射各薄膜层,制备得到多层结构的复合柔性导电薄膜。其中陶瓷增强金属基复合导电材料的制备为:将分散剂、粘结剂与碲化镉粉体、羟基磷灰石晶须混合均匀,球磨,制得陶瓷浆料;将陶瓷浆料置于模具中,在低温浴中进行定向凝固,得到冷冻陶瓷坯体,脱模,放入冷冻干燥仪中干燥,进行烧结,得到陶瓷材料;将锂镁合金块置于陶瓷材料上,一起放入高温炉中,高温烧结,冷却至室温,制备得到陶瓷增强金属基复合导电材料。
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