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晶体管及其制造方法

736   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 00:26:43
本发明提供了一种晶体管，包括衬底，堆叠于所述衬底上的二维半导体层，设置于所述二维半导体层两侧的源电极和漏电极，堆叠于所述二维半导体层上的栅控介质层，堆叠于所述栅控介质层上石墨炔层，位于所述石墨炔层上方的栅电极，填充于所述栅电极与所述石墨炔层之间的电解质层。石墨炔层能够在栅控脉冲撤去后，阻止锂离子的自发扩散回电解液，提高了数据保持能力与栅控能力。栅控介质层能阻止二硒化钨和石墨炔之间的电荷流动，增强电荷保持能力，从而增强存储可靠性，同时降低漏电流，减小功耗。本发明还提供了一种上述晶体管的制造方法。
声明：
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