本发明提出了一种Ni亚微米阵列的制备工艺。它先将基底和Ni靶材进行清洗预处理;然后在基底上沉积Ni层;接着对沉积后的模板进行热处理;最后用碱液溶解模板,除去模板后用去离子水洗涤,即可得到Ni亚微米阵列,与现有技术相比,本发明的有益效果是,本发明工艺所采用的是磁控溅射方法,工艺简单易行且重复性好,所需成本低,清洁环保,适合于规模化应用;所制得的Ni亚微米阵列高度有序,直径一致,并可以采用不同规格的AAO模板制备不同长度和直径的Ni亚微米阵列以满足实际需要;所制备的Ni亚微米阵列结构稳定,能够显著提高电极活性物质的比表面积,有效提高了锂离子电池的
电化学性能。
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