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基于硅棒线切割废料制备硅氧化物的方法

902   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 00:26:06
本发明提供一种基于硅棒线切割废料制备硅氧化物的方法，涉及硅材料领域。本发明将硅棒线切割产生的硅废料通过热氧化(和归中反应)直接得到硅氧化物材料，不需要经过蒸发和冷凝过程，也无需经过粉碎破裂，工艺过程简单，成本低廉；通过控制反应条件，可以实现氧原子和硅原子比例在0.16∶1～2∶1范围内的调节；充分利用硅棒线切割产生的硅废料来制备硅氧化物，进一步将其应用到制备锂离子电池或石英坩埚中，能够促进硅废料的高价值利用。
声明：
“基于硅棒线切割废料制备硅氧化物的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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