本发明公开了一种多层膜锂离子电池负极,包括基材、硅基层和碳层,所述的硅基层和碳层交替叠加,所述的硅基层由硅、二氧化硅以及填充于他们之间的碳组成。本发明还公开了利用MPECVD制备本发明的方法,本发明的多层膜电极,电极层数和厚度可控,由于这种结构的优点,电极具有良好的导电性和机械粘合力,因此允许电极通过增加层数提高活性物质的载量,从而提高电极的能量密度。在本节中,12层的三明治结构SiO2& Si/C膜电极获得了良好的容量持有率,且在1/8C的电流密度下,其可逆容量达到0.46mAh/cm2的单位面积比容量。这种材料结构策略还可以应用到其他材料中去,相信同样可以获得优异的性能。
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