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应用电子半导体领域柔性全陶瓷/复合陶瓷纤维及薄膜制备方法

733   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 00:25:32
本发明提供了一种应用于电子及半导体领域中超高纯柔性陶瓷纤维和薄膜制备技术，通过选择和控制金属有机类预聚合物分子结构、元素组成的、纯度、液体固化方式、成型技术及陶瓷化工艺等，制备生产出柔性陶瓷材料，并且控制微量污染元素如Al、Fe、B、P、Pt、Ca、Mg、Li、Na、Ni、V、Ti、Ce、Cr、S和As等杂质总含量低于10ppm，从而制备出具有5个9、6个9或更高纯度的电子、半导体级柔性陶瓷类材料的生产技术，并且所制备的相关陶瓷材料能够满足应用于半导体器件中作热控材料如散热、导热膜、电磁屏蔽和吸波材料、各种锂电池隔离膜、储能电池电极膜、氢能源中气体纯化过滤膜、催化剂载体等系列特殊要求的领域。
声明：
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