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用于测量等离子体沉积的动态压阻探针

606   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 00:24:28
一种用于测量等离子体沉积的动态压阻探针，使用接触式测量方法对金属推进剂电推力器束流等离子体的沉积情况进行测量的动态压阻探针。测量对象为电推进领域的金属工质锂推力器，测量离子沉积率。采用了一个恒流源通在并联的两块不同材质的金属板上，将等离子体沉积在金属表面产生的电阻率变化的差异采集并建立模型计算，最终获得等离子体的沉积率。
声明：
“用于测量等离子体沉积的动态压阻探针” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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