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在还原性气氛中感应加热提拉生长晶体的方法

1050   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 00:23:44
一种在还原性气氛中感应加热提拉生长晶体的方法,其特点在于:将钨坩埚或钼坩埚置于硬石墨毡上,再在硬石墨毡及坩埚之外卷裹多层软石墨毡,之后套于石英桶内,整体放在提拉晶体炉内的感应线圈内,置于炉膛底部的托盘上,将原料装入坩埚内,再在坩埚上方放置硬石墨毡保温罩或氧化锆保温罩,盖上硬石墨毡保温罩盖或氧化锆保温罩盖,封闭炉门,抽真空,充入保护气氛至正压后,按常规方法进行晶体生长,晶体生长结束后,在空气、氧气或其它气氛中退火。本发明的优点在于:利用石墨毡提供还原性气氛,从而可以使用廉价的钨、钼坩埚,能低成本生长蓝宝石、铝酸锂等晶体,通用性好,设备简单,非常适合规模化生产。
声明：
“在还原性气氛中感应加热提拉生长晶体的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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