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化学分解法提纯硅烷的方法

1044   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 00:22:07
本发明涉及化学分解法提纯硅烷的方法，在反应器中装有反应剂，粗硅烷通过反应器入口加入、经过与反应剂反应后，高纯硅烷经过采出口采出。反应器为一个或多个串联。多个串联反应器是由硅烷入口和出口通过管道与反应器相连。反应温度控制在-100～100℃。反应剂是能与硅烷的杂质反应生成高沸物而不与硅烷反应的物质,优选为无水乙醚、丙酮、甲醇、氢化锂的四氢呋喃溶液或浓硫酸。每个反应器中装填单一的反应剂，串联的几个反应器中装填同一种反应剂或者不同反应剂。本发明化学分解法分离提纯硅烷操作工艺简单，设备投资少，得到的硅烷纯度高，采用化学分解法分离提纯，提纯后的硅烷纯度达到6N及以上。
声明：
“化学分解法提纯硅烷的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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