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化学分解法提纯硅烷的方法

1096   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 00:22:07
本发明涉及化学分解法提纯硅烷的方法,在反应器中装有反应剂,粗硅烷通过反应器入口加入、经过与反应剂反应后,高纯硅烷经过采出口采出。反应器为一个或多个串联。多个串联反应器是由硅烷入口和出口通过管道与反应器相连。反应温度控制在-100~100℃。反应剂是能与硅烷的杂质反应生成高沸物而不与硅烷反应的物质,优选为无水乙醚、丙酮、甲醇、氢化锂的四氢呋喃溶液或浓硫酸。每个反应器中装填单一的反应剂,串联的几个反应器中装填同一种反应剂或者不同反应剂。本发明化学分解法分离提纯硅烷操作工艺简单,设备投资少,得到的硅烷纯度高,采用化学分解法分离提纯,提纯后的硅烷纯度达到6N及以上。
声明:
“化学分解法提纯硅烷的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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