本发明涉及化学分解法提纯
硅烷的方法,在反应器中装有反应剂,粗硅烷通过反应器入口加入、经过与反应剂反应后,高纯硅烷经过采出口采出。反应器为一个或多个串联。多个串联反应器是由硅烷入口和出口通过管道与反应器相连。反应温度控制在-100~100℃。反应剂是能与硅烷的杂质反应生成高沸物而不与硅烷反应的物质,优选为无水乙醚、丙酮、甲醇、氢化锂的四氢呋喃溶液或浓硫酸。每个反应器中装填单一的反应剂,串联的几个反应器中装填同一种反应剂或者不同反应剂。本发明化学分解法分离提纯硅烷操作工艺简单,设备投资少,得到的硅烷纯度高,采用化学分解法分离提纯,提纯后的硅烷纯度达到6N及以上。
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