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具有防锈作用的化学机械抛光液及其制备方法

1002   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 00:22:07
本发明公开了一种具有防锈作用的化学机械抛光液，其特征在于，由下列重量份的原料制成：微米级锂辉石粉5-7、白炭黑3-4、氟磷灰石粉1-2、亚麻油酸5.5-7、烯基丁二酸酯3-4、硅酸3-5、硅微粉9-11、磺基水杨酸1-2、碳酸氢钠2-4、失水山梨醇脂肪酸酯3-5、助剂5-7、去离子水300；本发明制取的混合抛光液，安全无毒，无难闻气味，配方合理，添加烯基丁二酸酯，具有防锈的作用，添加助剂，具有良好的耐磨、分散、润滑、成膜性，在工件表面就形成一个阻隔空气层，协同缓释剂的作用，可以阻止空气腐蚀；本发明抛光液质量稳定，不易变质，适合金属抛光。
声明：
“具有防锈作用的化学机械抛光液及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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