一种制造方法,其为由式(3)表示的环状
硅烷的制造方法,该制造方法包括以下工序:(A)工序:使由式(1)表示的环状硅烷化合物在卤化铝的存在下在环己烷中与卤化氢反应,得到含有由式(2)表示的环状硅烷化合物的溶液,接着将该溶液进行蒸馏而得到由式(2)表示的环状硅烷化合物的工序;以及(B)工序:将由式(2)表示的环状硅烷化合物溶解于有机溶剂中,并且用氢或氢化铝锂对该由式(2)表示的环状硅烷化合物进行还原的工序。
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