本发明属于锂离子电池领域,特别公开了一种硅碳复合纳米管阵列的制备方法。该硅碳复合纳米管阵列的制备方法,其特征为,将多孔阳极
氧化铝模板在惰性气体下升温,通入乙炔气体,乙炔的高温气相分解在模板表面生成
碳纳米管阵列,然后抽至真空,升温后通入惰性气体、氢气和
硅烷,硅烷分解,得到包含在模板内的同轴碳纳米管和硅纳米管阵列;将其用氢氟酸水溶液浸泡去除模板和表面的氧化硅,干燥后得到产品。本发明只需要通过两步化学气相沉积和氢氟酸腐蚀就可以得到管径、管长和壁厚可控,尺寸均一的硅碳复合纳米管阵列,整个生产过程没有复杂的设备且工艺步骤简单,便于大规模工业化生产且产品的稳定性较好。
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