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微米级矩形波导的制备方法及系统

798   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 00:18:36
本发明提供了一种微米级矩形波导的制备方法及系统，保持待加工品与水平方向呈倾斜放置，且倾斜方向与金刚石刀片刀刃第一侧边倾斜方向垂直，保持金刚石刀片竖直方向切割，形成第一划槽；将待加工品旋转，使其与水平方向呈倾斜放置，且放置方向与金刚石刀片刀刃第二侧边倾斜方向垂直，保持金刚石刀片竖直方向切割，形成第二划槽，实现两条划槽中间的预留位置形成矩形波导。本发明不需要将微米级铌酸锂薄膜层切透，从而得到侧壁光滑，易加工的矩形波导。
声明：
“微米级矩形波导的制备方法及系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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