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低损耗高温度稳定性的表面声波传感器

923   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 00:16:23
本发明提供一种低损耗高温度稳定性的表面声波传感器，包括：压电基片、沉 积在压电基片表面的输入叉指换能器和输出叉指换能器、以及覆盖在所述压电基片 以及输入叉指换能器和输出叉指换能器上面的敏感膜。所述压电基片为兼具高机电 耦合系数、高温度稳定性的晶体材料，该压电基片采用硅酸镓镧、钽酸镓镧、铌酸 镓镧、磷酸镓、Sr3TaGa3Si2O14、Sr3NbGa3Si2O14、Ca3TaGa3Si2O14、Ca3NbGa3Si2O14以 及Sr3Ga2Ge4O14和四硼酸锂。输入叉指换能器在压电基片中激发声波并传播，输出叉 指换能器用于接收声波，当加载的被测物与敏感膜发生反应后会导致声波的特性发 生变化，通过检测这些变化而得到关于被测物的特性结论。本发明从结构方面改善 传感器性能，实现实用的低损耗、高温度稳定性的表面声波传感器。
声明：
“低损耗高温度稳定性的表面声波传感器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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