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原子层沉积LiPON固态电解质薄膜的制备方法

781   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 00:15:06
本发明涉及一种原子层沉积LiPON固态电解质薄膜的制备方法。本发明属于新能源材料技术领域。原子层沉积LiPON固态电解质薄膜的制备方法，通过原子层沉积方法生长LiPON固态电解质薄膜：只采用普通的原子层沉积设备，不需要等离子体发生器进行辅助或增强；ALD沉积过程中只采用两种反应前驱体源，其中一种为锂前驱体源，另一种为磷和氮一体化前驱体源；在一定温度下通过ALD生长制备LiPON固态电解质薄膜。本发明具有膜层厚度能实现原子层尺度级精确控制、工艺简单、操作方便、离子电导率高等优点。
声明：
“原子层沉积LiPON固态电解质薄膜的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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