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利用非水解溶胶‑凝胶工艺在SiC基底上制备ZrSiO4薄膜的方法

1128   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 00:15:05
本发明公开了一种利用非水解溶胶‑凝胶工艺在SiC基底上制备ZrSiO4薄膜的方法，该方法分别以正丙醇锆和正硅酸乙酯为锆源和硅源，正丙醇为溶剂，氟化锂为矿化剂，添加无水柠檬酸以及合适的表面活性剂制得镀膜用的ZrSiO4溶胶，再将溶胶加热预处理，采用浸渍‑提拉法并优选镀膜工艺参数在SiC基底上制得均匀致密的ZrSiO4薄膜。本发明具有工艺简单、成膜质量好等突出优点。
声明：
“利用非水解溶胶‑凝胶工艺在SiC基底上制备ZrSiO4薄膜的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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