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声表面波器件

1093   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 00:15:03
本发明公开了一种声表面波器件，包括依次叠置的压电薄膜层和衬底层，以及包括设在压电薄膜层的远离衬底层一侧的叉指换能器，压电薄膜层为铌酸锂薄膜；压电薄膜层利用水平剪切型声表面波，压电薄膜层的欧拉角为(0°，90±10°，90±10°)；或者，压电薄膜层利用高阶瑞利型声表面波，压电薄膜层的欧拉角为(50±5°，20±5°，0°)。本发明公开的声表面波器件能够激发兼具高声速、高机电耦合系数和导纳/阻抗比的声表面波，提高了声表面波器件的工作频率、带宽和品质因数，满足5G通信高频、大带宽的应用需求。
声明：
“声表面波器件” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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