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脊形波导制作方法

1088   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 00:15:03
本发明涉及一种脊形波导制作方法，包括以下步骤：将晶片切割成特定尺寸的晶体；晶片为周期极化铌酸锂晶片；在晶体上切割出宽度为W，深度为H的波导；切割后的晶体包括波导和底座；将基底切割成特定尺寸，在基底上切割出宽度大于W，深度大于H的凹槽；胶合基底和晶体，得到脊形波导，胶合时，波导位于凹槽中；对底座进行抛光减薄，形成薄层；对脊形波导的端面进行抛光再镀膜。本发明通过一个凹槽保护脊形波导，然后反面抛光减薄，从而形成薄膜脊形波导。避免了离子注入建和带来的结构损伤等问题。
声明：
“脊形波导制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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