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四（二甲氨基）铪的制备方法

924   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 00:15:02
本发明化工领域，具体关于一种四（二甲氨基）铪的制备方法；本发明是在有机溶剂中用二甲基胺和四氯化铪在正丁基锂提供的碱性环境下，由一种冠醚基双金属化物催化发生脱酸反应，合成了四（二甲氨基）铪，本发明制备方法简单，原材料利用率高，反应时间短，产物收率高，纯度高，能够满足铜屏蔽应用中氮化铪膜形成以及HKMG电极制成中对四（二甲氨基）铪化合物的使用需求。
声明：
“四（二甲氨基）铪的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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