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分步加热制备硅基三维纳米结构的方法

750   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 00:13:42
本发明涉及一种分步加热制备硅基三维纳米结构的方法，使用两个内径不同的中空石墨坩埚，使得两个坩埚相互嵌套，其中一个石墨坩埚放置硅源，另一个石墨坩埚放置镀铁的硅片作为基底，并将两个坩埚放置在适当位置；迅速将温度升高至950摄氏度，保持温度5分钟后降低感应炉功率，使温度在数秒内下降至850摄氏度左右，继续保持5分钟后关闭电源。在硅片基底上可以得到三维纳米结构，具体为较粗的硅纳米线构成三维结构的骨架，在骨架间隙内填充有极细的硅纳米丝状物。所得材料具有较大的比表面积和牢固的三维骨架，因此在锂电池和高性能传感器中有较好的应用。
声明：
“分步加热制备硅基三维纳米结构的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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