本发明公开了一种制备硅纳米结构材料的方法,属于
新材料与
纳米材料领域。本发明采用氢氟酸溶液中的溶解氧作为氧化剂,利用原电池腐蚀技术在硅片表面刻蚀硅纳米结构,可实现多种形貌硅纳米结构材料的可控制备。使用本发明制备的硅纳米结构材料是优异的
太阳能电池和光催化材料、热电材料和锂离子电池
负极材料,具有广泛的应用前景和实用价值。本发明方法工艺简单,成本低廉,便于大规模生产。
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