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适用于粉末样品的原子层沉积装置、沉积方法

915   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 00:10:15
本发明属于原子层沉积技术领域，公开了一种适用于粉末样品的原子层沉积装置、沉积方法，原子层沉积装置设置有：两级式可加热式主腔体；两级式可加热式主腔体外侧连接有利用电机或其它方式驱动的机械转动轴及震动器，两级式可加热式主腔体的每一级腔体两端固定有柔性可加热式气体管道；柔性可加热式气体管道外接有气动阀门及粉末过滤器；所述粉末过滤器连接有可加热式气体管道。本发明公开的沙漏型适用于实验研究及工业级别粉末样品制备的原子层沉积设备，从工艺和设备角度，突破了原子层沉积技术的效率和成本限制，可实现单次毫克～吨级别锂电池、燃料电池、催化剂等粉末的均匀包覆。
声明：
“适用于粉末样品的原子层沉积装置、沉积方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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