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复合蓝宝石衬底基片及其制备方法

956   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 00:10:13
一种复合蓝宝石衬底基片及其制备方法,该复合 蓝宝石衬底基片是在蓝宝石基片(α- Al2O3)背面覆盖一层铝酸锂(γ- LiAlO2)构成,它是利用气相传输 平衡方法制备的,该复合蓝宝石衬底基片 LiAlO2/α- Al2O3,克服了蓝宝石(α- Al2O3)硬度高的缺点,提高了蓝宝石基氮化物芯片 LiAlO2/α- Al2O3/GaN的减薄和划片的效率,划片成品率普遍提高5%-10 %。
声明:
“复合蓝宝石衬底基片及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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