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敏感膜图形化的谐振型声表面波湿度传感器

762   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 00:08:22
本发明公开了一种敏感膜图形化的谐振型声表面波湿度传感器，所述湿度传感器包括压电基底(1)，压电基底(1)的上表面设置声表面波叉指换能器(2)，声表面波叉指换能器(2)的两侧分别设置声表面波反射栅(4)，在声表面波叉指换能器(2)和声表面波反射栅(4)的表面涂覆图形化敏感膜(3)。本发明通过敏感膜图形化的方法降低了谐振器器件损耗，采用耐辐射性强的敏感膜结构、铌酸锂压电基底及铝电极结构，确保了传感器在辐射环境下的稳定性，在相对湿度区间为10％‑100％的条件下，可以达到3％的灵敏度，用于核电站反应堆冷却系统管道泄露监测可解决核冷却管道泄露高湿度监控布线难、维护难的问题。
声明：
“敏感膜图形化的谐振型声表面波湿度传感器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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