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反射延迟线型声表面波湿度传感器

979   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 00:06:26
本发明公开了一种反射延迟线型声表面波湿度传感器，所述声表面波湿度传感器包括压电基底(1)，压电基底(1)上表面设置声表面波叉指换能器(2)和声表面波反射栅(4)，声表面波反射栅(4)设置在声表面波叉指换能器(2)的两侧，在声表面波叉指换能器(2)和一侧的声表面波反射栅(4)之间设置镀膜区(3)，镀膜区(3)的表面涂覆敏感层(5)。本发明通过采用耐辐射性强的敏感层结构、铌酸锂压电基底及铝电极结构，确保了传感器在辐射环境下的稳定性，相对湿度区间为10％‑100％的条件下，可以达到5％的灵敏度，用于核电站反应堆冷却系统管道泄露监测的可解决核冷却管道泄露高湿度监控布线难、维护难的问题。
声明：
“反射延迟线型声表面波湿度传感器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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