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玻璃减薄刻蚀液补充液

775   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 00:02:35
本发明公开了一种玻璃减薄刻蚀液补充液,可显著延长玻璃刻蚀液的使用寿命,减少或免除刻蚀废液的处理过程。其主要组成为:HF为20-55%,碱金属盐为0.1-5%,0.001-0.1%脂肪醇聚氧乙烯醚类表面活性剂,其余为水。优选HF浓度为30-45%,碱金属盐浓度0.2-1%。碱金属盐可为锂盐,钠盐,和钾盐,可优选钠盐;对应酸根离子可为无机酸根离子如氟离子,氯离子,硝酸根离子,硫酸(氢)根离子,磷酸(氢)根离子,碳酸(氢)根离子等;或有机酸根离子如醋酸和带有上述酸根离子的离子型表面活性剂。可选择一种或几种碱金属盐的混合物。可适用于槽式或淋洗式处理工艺。
声明:
“玻璃减薄刻蚀液补充液” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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