本发明提供氧化硅的制备方法、包含所述氧化硅的负极活性材料、负极和二次电池。所述氧化硅的制备方法包括:将硅和二氧化硅混合并放入反应室内;降低反应室的压力以获得高真空度,同时将所述反应室内的温度升高到反应温度;以及在还原气氛下使硅和二氧化硅的混合物反应;其中所述高真空度在10
‑4托到10
‑1托的范围内,以及维持所述高真空度直到硅和二氧化硅的反应结束。通过所述方法可以控制氧化硅中氧的量,所以可以提高二次电池的首次效率。并且由于SiO
x和锂原子之间可以进行反应同时维持SiO
x结构,所以可以改善寿命特性。
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