用于产生用于材料加工的紫外(UV)脉冲激光辐射的装置(10)包括提供红外(IR)脉冲激光辐射的激光源(20)和频率转换模块(28)。位于频率转换模块(28)内的四硼酸锂(Li2B
4O
7)晶体(72)通过非线性谐波产生将IR脉冲激光辐射转换成UV脉冲激光辐射。频率转换模块(28)是一个密封的外壳,其可以抽空或含有干燥气体。柔性光纤组件(24)将来自激光源的IR脉冲激光辐射传输到频率转换模块。
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