本发明公开了一种复合型磷酸盐涂层配方,用磷酸铝、磷酸锌、磷酸锂按照一定比例在低浓度的磷酸中混合反应制备而成涂层溶液,然后用此溶液对石墨夹具进行一定时间的浸泡烘干,就可在石墨夹具的表层形成一层均匀的磷酸盐涂层。本发明制备的复合型磷酸盐涂层,既能保证石墨夹具在600℃范围内具有良好的稳定性,也不会在氢氟酸溶液中腐蚀消耗掉,并且不会破坏石墨夹具的导电性能,实现了对石墨夹具有效良好保护。
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