本发明公开了一种获取高品质薄膜样品X射线吸收谱的方法,在薄膜样品的测量过程中,采用干式胶片曝光其单晶衬底所致衍射斑点后,通过铅皮遮蔽曝光点,阻止衬底所致的衍射信号进入探测器,从而得到高品质薄膜样品X射线吸收谱。这种干式胶片由碳,氮,氧及微量的锂元素构成,有效原子序数在6-8之间,胶片厚度约为100-200微米,不会对硬X射线吸收谱测量带来严重背底,特别是还可以和探测器中的滤光片集成,同时滤除由于入射光引起的散射效应和薄膜样品基底导致的衍射效应,从而,提供一种简便有效的途径,获得薄膜样品的高品质X射线吸收光谱。
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