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采用脊形波导的马赫曾德光调制器晶片结构

842   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:51:05
本实用新型公开了一种采用脊形波导的马赫曾德光调制器晶片结构，包括硅衬底、二氧化硅下包层、铌酸锂薄膜、二氧化硅缓冲层、二氧化硅上包层、氧化钽脊形波导和行波电极。本实用新型旨在克服现有技术中存在的不足，提供了一种基于硅基铌酸锂薄膜氧化钽脊形波导的马赫曾德光调制器，在实现低功耗驱动的同时降低了调制器的尺寸，提高了器件的稳定性，具有制作工艺简便，器件尺寸小，弯曲半径小，稳定性好等优点。
声明：
“采用脊形波导的马赫曾德光调制器晶片结构” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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