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射频电源自动阻抗匹配装置

659   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 23:44:06
本实用新型公开了一种射频电源自动阻抗匹配装置,包括电源底板、连接块、后置板、金属板和蜂鸣器,电源底板的顶端与连接块的底端固定连接,电源底板的顶端固定连接有后置板,连接块和后置板的顶端固定连接有金属板,金属板的顶端中部固定连接有吸热板,金属板的顶端固定连接有支撑架,支撑架的一侧固定连接有导热管,导热管的内部设置有液体水银,导热管的内壁滑动连接有滑动板,滑动板的顶端固定连接有锂电池,通过导热管、蜂鸣器、锂电池、滑动板、金属板、吸热板、电极片和水银的配合,可以对电源和匹配管的温度进行监控并且当到达预设值后随之会发出报警,给工作人员提示,起到监控电源温度的效果,给工作人员带来方便。
声明:
“射频电源自动阻抗匹配装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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