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基于斜指换能器的可变间距微结构的制备装置及方法

853   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:42:36
本发明公开了一种基于斜指换能器的可变间距微结构的制备装置及方法。铌酸锂晶片上有一对斜指电极，中央布置有玻璃液槽；液态光敏预聚物置于玻璃液槽内；UV固化灯置于铌酸锂晶片下方。两个斜指换能器上加振幅变化、具有相位差且相位差变化的激励信号，两侧激励信号产生的声表面波叠加到液态光敏预聚物，形成峰谷高度变化/峰线谷线变化的可调变间距微阵列结构，通过紫外光照射使其固化成形。本发明能实现快速、可调控地制造微阵列结构，具有操作简便、生产效率高、结构可调控等特点。
声明：
“基于斜指换能器的可变间距微结构的制备装置及方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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