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基于微腔结构的双腔自注入一体化集成光生微波源系统

944   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:40:21
本发明涉及光生微波技术领域，尤其涉及一种基于微腔结构的双腔自注入一体化集成光生微波源系统，其为一体化芯片结构，包括三个芯片级集成单元：第一集成单元，其为有源器件，包括DFB激光器和高饱和功率光电探测器；第二集成单元，其为无源器件，包括基于硅衬底的铌酸锂薄膜调制器、铌酸锂环形回音壁廊微谐振器和CaF2回音壁廊谐振器；第三集成单元，其为集成电路芯片用以补偿光电振荡回路中的损耗并进行相位匹配，包括移相器和电放大器；本发明所述系统能够克服现有技术中自注入锁定光生微波源信号稳定差的问题，提出一种高超声速精确打击武器装备对低相噪、可调谐、高频率稳定性小型化微波源。
声明：
“基于微腔结构的双腔自注入一体化集成光生微波源系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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