佛山菲斯特科技有限公司高精度狭缝涂布系统设备,品牌:菲斯特,产地:广东·佛山。
设备参数:
1.基材尺寸Max:300*300mm
2.涂布成膜均匀度:±5%(100mm幅宽下)
3.涂布刀口直线度≤2um/m
4.涂布头工作面直线度≤2um/m
5.垂直轴定位精度≤0.005mm
6.平台平面度精度:优于±5μm
佛山菲斯特科技有限公司高精度狭缝涂布系统设备结构&工艺
结构:主要由Y轴大理石直线电机模块及Z轴精密移动模块组成,还包括涂布头,涂布头调节模块,注液模块,风刀模块及电控部分组成。
工艺:所选涂料经过注液泵注入高精度涂布头,基材在大理石平台上被真空吸附定位,涂布头调平后直线电机平台装载基材移动,完成基片均匀涂布。
佛山菲斯特科技有限公司高精度狭缝涂布系统设备定制服务
1.涂布间隙检测系统
2.多尺寸刀头,多规格垫片
3.原位加热
4.其他