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弹性波装置、弹性波滤波器以及复合滤波器装置

800   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:40:21
提供一种不易产生纹波的弹性波装置。弹性波装置(1)在包含硅的支承基板(2)上层叠有氧化硅膜(3)、钽酸锂膜(4)、IDT电极(5)以及保护膜(8)，关于钽酸锂膜的波长标准化膜厚TLT、欧拉角的θLT、氧化硅膜(3)的波长标准化膜厚TS、换算为铝的厚度的IDT电极(5)的波长标准化膜厚TE、保护膜的波长标准化膜厚TP、支承基板(2)的传播方位ψSi、支承基板(2)的波长标准化膜厚TSi的值，设定TLT、θLT、TS、TE、TP和ψSi，使得Ih大于‑2.4，其中，Ih对应于关于杂散(A、B、C)的响应中的至少一个响应由下述的式(1)表示的杂散的响应的强度。
声明：
“弹性波装置、弹性波滤波器以及复合滤波器装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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