一种胺钛化合物及其制备方法,属于有机化学技术领域。该胺钛化合物的制备方法包括以下步骤:(1)将烷烃溶剂和二烷基胺混匀,在低温下滴加正丁基锂,在室温下搅拌后得到溶解有二烷基氨基锂的烷烃乳浊液;(2)在低温下向步骤1制得的烷烃乳浊液中滴加四氯化钛,滴加完毕后升温进行反应,制得四(二烷基氨基钛);(3)在低温下向步骤2制得的四(二烷基氨基钛)中滴加肼,滴加完毕后进行升温反应,之后减压蒸馏并收集得到馏分1,2‑三(二烷基胺基)钛‑肼。本发明高收率低成本,利于工业上量化生产,产品稳定性好,有利于经原子层沉积形成含钛膜,尤基是良好的氮化钛薄膜。
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