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MEMS振动能量收集与存储的单片集成装置及其制备方法

1045   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:38:49
本发明公开了一种MEMS振动能量收集与存储的单片集成装置及其制备方法。本发明采用堆叠的方式实现能量收集器件与锂离子电池的单片集成，结构简单紧凑，利于实现传感器节点的微型化、集成化并提高能源利用效率。此外，本发明中基于MEMS悬臂梁结构的堆叠方式，既实现了能量收集器件对振动能量的有效收集，还有助于释放和减小锂离子电池充放电时产生的应力，不但提高了器件的集成度还增强了器件可靠性。
声明：
“MEMS振动能量收集与存储的单片集成装置及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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