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全无机固态电致变色器件用电解质薄膜的制备方法

1047   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:38:17
本发明涉及一种全无机固态电致变色器件用电解质薄膜的制备方法，该制备方法具体步骤如下：以LiMg合金作为靶材，并将清洗备用的衬底基片置于溅射腔室内的样品旋转台上，溅射腔室内预抽真空度＜1.0×10‑4Pa；将氩气与氧气充分混合后通入溅射腔室内至溅射工作气压0.3～1Pa，混合气体中氮气和氩气的流量比控制在10%～50%；在样品旋转台旋转工作、脉冲直流电源占空比为40%～80%、溅射功率密度控制在3W/cm2以下，靶基距离为6～12cm，溅射60～120min，溅射成LiMgN薄膜。本发明的优点在于：本发明采用脉冲直流反应磁控溅射制备无机固态锂离子电解质LiMgN薄膜，使得连续、在线、大面积工业化生产电致变色玻璃成为可能。
声明：
“全无机固态电致变色器件用电解质薄膜的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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