光波导器件。一种光波导器件,该光波导器件包括:中间层、包括X‑切割铌酸
锂的薄膜LN层和缓冲层,该中间层、包括X‑切割铌酸锂的该薄膜LN层和该缓冲层层叠在基板上;光波导,该光波导形成在所述薄膜LN层中;以及电极,该电极用于驱动。所述中间层由上部的第一中间层和下部的第二中间层形成,所述第二中间层的介电常数小于所述第一中间层的介电常数。
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