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弹性波装置以及多工器

1053   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:37:28
本发明提供一种能够有效地抑制高阶模的弹性波装置。本发明的弹性波装置(1)具备：支承基板(4)，是硅基板，且面取向为Si(111)；压电体层(7)，使用了旋转Y切割X传播的钽酸锂；以及IDT电极(3)。若将由IDT电极(3)的电极指间距规定的波长设为λ，则压电体层(7)的膜厚为1λ以下。压电体层(7)具有由极化方向决定的正面以及负面。将钽酸锂的晶轴(XLT，YLT，ZLT)的ZLT轴投影到支承基板(4)的(111)面的方向向量k111和硅的[11‑2]方向的角度设为α111，将n设为任意的整数，此时，在IDT电极(3)被设置在压电体层(7)的正面上的情况下，角度α111在0°+120°×n≤α111≤45°+120°×n的范围内，或者在75°+120°×n≤α111≤120°+120°×n的范围内，在压电体层(7)的负面上设置有IDT电极(3)的情况下，角度α111在15°+120°×n≤α111≤105°+120°×n的范围内。
声明：
“弹性波装置以及多工器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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