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等离子体淀积炉的反应室结构

609   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:37:27
本发明公开了提供一种等离子体淀积炉的反应室结构，包括：内层石英管，其内部为用于盛装反应气体的反应腔；外层石英管，其套在内层石英管外并与所述内层石英管同轴，外层石英管与所述内层石英管之间具有间距；用于将反应气体电离产生碳原子的电感线圈，其缠绕在内层石英管上，且电感线圈沿内层石英管的轴向延伸，电感线圈与射频电源连接。本发明电感线圈通入射频电源后，电感线圈将反应腔内的反应气体电离产生碳原子，这样碳原子会一层一层的落在铜箔或铝箔上，而碳原子与碳原子之间会通过化学键联接在一起，从而在铜箔或铝箔上生长出石墨烯，这样石墨烯具有特定的结构，更有利于锂离子电池的储能，从而使该锂离子电池具有更高的能量密度。
声明：
“等离子体淀积炉的反应室结构” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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