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复合基板的制造方法及复合基板

1085   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:35:24
本发明提供一种能够在抑制裂纹产生的同时提高温度特性的复合基板及这种复合基板的制造方法。本发明的复合基板的制造方法具备：准备具有粗糙面的压电材料的基板的步骤；通过化学方法对压电材料的基板的粗糙面进行蚀刻而除去损伤层的步骤；在除去了损伤层的压电材料的基板的粗糙面沉积夹层的步骤；使沉积的夹层的表面平坦化的步骤；将压电材料的基板经由沉积的夹层与热膨胀系数比压电材料小的支承基板贴合的步骤；以及使贴合后的压电材料的基板薄化的步骤。作为压电材料，优选钽酸锂(LT)或铌酸锂(LN)。
声明：
“复合基板的制造方法及复合基板” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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