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新型声表面波传感器

648   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:32:20
本发明公开了一种新型声表面波传感器，采用钽酸锂材料制成声表面波传感器，产生水平剪切波；在声表面波传感器的压电基板上安装叉指式换能器电极，并在声表面波传感器表面镀一层与波传播方向垂直的二氧化硅脊阵列，所述叉指式换能器电极、二氧化硅脊阵列间隔设置。本发明利用了钽酸锂产生的水平剪切波的特点，利用在发射端和接收端叉指电极之间的感应区增加协助其振动的二氧化硅阵列，减少该波在传播过程中在垂直方向上的损耗，并利用其共振效应使得声表面波在传播时集中在表面，减少垂直方向上传播的损耗，提升压电介质的应变产生电位移，进而改善其性能。
声明：
“新型声表面波传感器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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