合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 材料制备及加工技术

> 加工技术

> 声表面波滤波器及其制作方法

声表面波滤波器及其制作方法

891   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:32:18
本发明公开了一种声表面波滤波器及其制作方法，首先在钽酸锂或铌酸锂衬底上覆盖一层不透光金属层，之后利用黄光流程定义出IDT图形，再通沉积金属，采用剥离工艺去除光刻胶及其上方的金属后，再将多余的不透光金属层去除。其中不透光金属层为粘合层时，通过蒸镀工艺沉积金属，再利用RIE或ICP工艺去除粘合层；不透光金属层为种子层时，采用电镀工艺沉积金属，再利用湿法刻蚀工艺去除种子层。即可完成叉指状金属电极的制作工艺。本发明可避免因衬底黑化不均导致透光率不同，从而影响光刻结果，并且可以避免金属残留等问题。
声明：
“声表面波滤波器及其制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
加工技术
上一个：机车无接触状态下自走行动力装置
下一个：高伸长率的PEDOT:PSS导电纤维的纺丝方法

与 “声表面波滤波器及其制作方法” 相关技术

▪ 干选精矿选矿筛分装置及其筛分方法
▪ 钨矿选矿筛分装置及方法
▪ 冶金固废高附加值综合利用技术分析
▪ 圆锥破碎机进料斗的防尘布料装置
▪ 空间用多结太阳电池及其制备方法
▪ 用于固态电池的复合层合结构及其制备方法
▪ 新疆天山大型-超大型砂砾岩型铜铅锌矿床的成矿特征及研究进展
▪ 大面积钙钛矿太阳能电池的连续制备生产线及方法
▪ 高效工业废气处理工艺
▪ 节能高效的高浓度有机废气处理系统及方法

相关加工设备推荐

立轴行星式搅拌机
冷铝灰炒灰机
MIM-17-4PH (D) Powders
立轴行星式搅拌机发展行业“共赢链”
5154视频线
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪干选精矿选矿筛分装置及其筛分方法
▪钨矿选矿筛分装置及方法
▪冶金固废高附加值综合利用技术分析
▪圆锥破碎机进料斗的防尘布料装置
▪空间用多结太阳电池及其制备方法
▪用于固态电池的复合层合结构及其制备方法
▪新疆天山大型-超大型砂砾岩型铜铅锌矿床的成矿特征及研究进展
▪大面积钙钛矿太阳能电池的连续制备生产线及方法
▪高效工业废气处理工艺
▪节能高效的高浓度有机废气处理系统及方法

报名参会
更多+

2024国际新型功能材料与器件会议
2024国际新型功能材料与器件会议
2024年12月06日 ~ 08日
2024全国海工装备及高技术船舶材料技术交流会
2024全国海工装备及高技术船舶材料技术交流会
2024年12月06日 ~ 08日
2024中国高纯石英资源开发利用大会
2024中国高纯石英资源开发利用大会
2024年12月13日 ~ 15日
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025年01月03日 ~ 05日
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
2025年03月25日 ~ 27日

报告下载

1 锂离子电池正极材料磷酸锰铁锂的
下载:219
2 磷酸(锰)铁锂材料的发展及动力电
下载:123
3 磷酸铁锂材料与电池体系的发展方
下载:115
4 废旧动力电池磷酸铁锂材料再资源
下载:112
5 磷酸铁锂的产业化与回收前景分析
下载:111
6 西藏盐湖锂资源和开发利用
下载:97
7 高倍率磷酸铁锂电池的研究与进展
下载:91
8 高能量密度磷酸铁锂电池的技术路
下载:88
9 磷酸铁锂材料性能改善研究
下载:79
10 废旧磷酸铁锂电池梯次及再生利用
下载:69
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1智能耳穴调节装置
2《高强韧微纳米金属陶瓷材料关键技术开发与应用》——邓莹
3铝箔化成反应过程中的数据管理方法
4制备碳/碳复合材料的湿法针刺工艺
5改性生物炭及其制备方法和应用
6金刚石-碳化硅复合材料、制备方法以及电子设备
7粉末冶金材料及其制备技术现状与新动向
8钴酸铜催化电极材料及其在硝酸根还原制氨中的应用
9石英纤维/炭纤维增强炭基复合材料坩埚及其制备方法
10水性环氧树脂分散体及其制备方法
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记