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声表面波滤波器及其制作方法

909   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:32:18
本发明公开了一种声表面波滤波器及其制作方法，首先在钽酸锂或铌酸锂衬底上覆盖一层不透光金属层，之后利用黄光流程定义出IDT图形，再通沉积金属，采用剥离工艺去除光刻胶及其上方的金属后，再将多余的不透光金属层去除。其中不透光金属层为粘合层时，通过蒸镀工艺沉积金属，再利用RIE或ICP工艺去除粘合层；不透光金属层为种子层时，采用电镀工艺沉积金属，再利用湿法刻蚀工艺去除种子层。即可完成叉指状金属电极的制作工艺。本发明可避免因衬底黑化不均导致透光率不同，从而影响光刻结果，并且可以避免金属残留等问题。
声明：
“声表面波滤波器及其制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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