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单晶压电体声波谐振器、滤波器及电子设备

860   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:32:18
本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜空腔；底电极；顶电极；和单晶压电层，设置在底电极与顶电极之间，其中：压电层的下表面与基底的上表面之间设置有支撑结构，压电层与基底大体平行布置；所述底电极的下侧设置有下钝化层，所述下钝化层覆盖所述底电极在所述空腔内的表面的至少一部分；且所述下钝化层的边界在水平方向上处于所述压电层的边界的内侧。所述压电层为单晶铌酸锂压电层或单晶钽酸锂压电层。本发明还涉及一种滤波器，和一种电子设备。
声明：
“单晶压电体声波谐振器、滤波器及电子设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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