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蒸镀膜的形成方法

1032   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:28:24
本发明提供一种同时形成锂二次电池的集电引线形成部和电极活性物质部、批量生产性优异的真空蒸镀装置。在将闸门(12a、12b)关闭的状态下,将卷绕于第一辊(3)的基板(4)送出,向第二辊(8)搬送,直至到达第一和第二能够蒸镀区域(60a、60b)时停止。在此,打开闸门(12a),使蒸发源(9)的坩埚内的蒸镀原料蒸发,向位于第一能够蒸镀区域(60a)的基板(4)的表面供给。由此,在基板(4)的表面形成第一层蒸镀膜。以规定时间在基板(4)进行蒸镀之后,关闭闸门(12a)。接着再次搬送基板(4),使在第一能够蒸镀区域(60a)蒸镀形成的部分停止于第二能够蒸镀区域(60b)的位置。打开闸门(12a、12b),再次进行蒸镀,在第一能够蒸镀区域(60a)形成第一层,并且在第二能够蒸镀区域(60b),在第一层之上形成与第一层成长方向不同的第二层蒸镀膜。
声明：
“蒸镀膜的形成方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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