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超宽带声表面波谐振器及滤波器

978   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:24:44
本发明公开了一种超宽带声表面波谐振器，包括15°铌酸锂基片，基片上梳状设置有金属指条，金属指条的宽度d与超宽带声表面波谐振器的半个谐振周期p的比值的取值范围为0.28‑0.38，且金属指条的厚度h与超宽带声表面波谐振器的一个谐振周期2p的比值的取值范围为0.08‑0.11。本发明通过对谐振器占空比和镀膜相对厚度的优化，采用在15°铌酸锂材料镀铜的工艺方法实现横向模和瑞利波寄生的有效抑制，使通带波纹限制在1dB范围内，可实现相对带宽20%可工程应用的小型化、超宽带的声表面波滤波器。
声明：
“超宽带声表面波谐振器及滤波器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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