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接合基板、声表面波元件、声表面波元件设备和接合基板的制造方法

851   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 23:24:42
本发明的接合基板具有以与晶体X轴交叉的角度被切割的水晶基板、和在所述水晶基板上进行层叠的压电基板,优选为水晶基板的切割角度相对于晶体X轴具有85~95度的范围的角度,优选为水晶基板的声表面波传播方向相对于晶体Y轴具有15~50度的角度,作为压电基板,优选为使用铌酸锂或钽酸锂,优选为压电基板具有厚度h相对于声表面波的波长λ具有0.02~0.11λ的关系。
声明:
“接合基板、声表面波元件、声表面波元件设备和接合基板的制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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