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ZnO薄膜材料、声表面波滤波器复合薄膜材料及制备方法

1028   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:23:23
本发明公开了一种ZnO薄膜材料、声表面波滤波器复合薄膜材料及制备方法，ZnO薄膜材料是在该ZnO薄膜中掺杂有锂和钒，构成LixVyZn（1-x-y）O压电薄膜。声表面波滤波器用复合薄膜材料，从下到上依次由Si衬底、UNCD膜层、LixVyZn（1-x-y）O压电薄膜层、IDT换能器Al/Ti薄膜层构成，LixVyZn（1-x-y）O压电薄膜层厚度为250?nm～600nm。本发明大大提高了ZnO薄膜电阻率及其压电性，压电薄膜的电阻率为108Ω.cm～109Ω.cm，从而降低了SAW器件插入损耗，插入损耗可降低6.1dB左右。提升了SAW压电材料的声速，从而提高了SAW器件工作频率。
声明：
“ZnO薄膜材料、声表面波滤波器复合薄膜材料及制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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